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        1. CVD设备
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          真空炉的故障现象原因及处理办法

          2020-09-22 15:00:37

              真空炉的故障现象原因及处理办法:  

              1、真空度低:泵油污染、过少或过稀,清洗真空泵,更换新真空泵油。  

              2、抽气时间太短:延长抽气时间。  

              3、抽气过滤器堵塞:清洗或更换排气过滤器。  

              4、有漏气处:抽空后关闭电源,检查电磁阀、管接头、真空泵吸气阀及工作室周边密封垫有无漏气处。  

              5、噪音大:真空泵联轴器磨损或破裂,更换。  

              6、排气过滤器堵塞或安装位置不正:清洗或更换排气过滤器并安装正确。  

              7、真空炉喷油:吸气阀O型圈脱落,拔下泵嘴上的真空管,卸下抽气嘴,取出压簧和吸气阀,轻轻拉伸O型圈几次,重新将其嵌入凹槽内,再安装即可。  

              8、旋片磨损:更换旋片。  

              9、真空炉漏油:回油阀堵塞,卸下回油阀,清洗(详见说明书)。  

              10、油窗松动:放油后,卸下油窗,缠上生料带或薄塑料薄膜。  

              11、真空炉油烟大:抽气过滤器堵塞或污染,清洗或更换排气过滤器。  

              12、泵油污染:更换新油。  

              13、回油阀堵塞:清洗回油阀(详见说明书)。  

              14、不加热:加热条烧断,更换加热条。  

              15、加热时间继电器烧坏(开机即两灯同时亮,OMRON灯颜色为黄色):更换时间继电器。  

              16、加热线烧断:更换加热线,并安装牢固。控制加热温度波段开关接触不良:修复或更换。控制加热的交流接触器不复位:修复(用气流吹去异物)或更换。  

              17、加热不停止:加热时间继电器接触不良或烧坏,调整时间继电器与插座接触或更换。  

              18、封口不平、不紧或不封口:钢盒变形,调整钢盒加热时间与加热温度未调好,调整至合适。  

              19、电机反转时间过长:任意两相电源线调换安装(地线除外)。  

              20、加压气路通气不畅:理顺疏通加压气路。

          真空炉


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