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        1. CVD设备
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          真空退火炉设备的操作规程

          2020-11-17 09:03:44

          真空退火炉设备的操作规程


          1、真空退火炉设备工作前


          查验“交接班记录”。


          a.检查炉膛清洁状况,并清扫氧化铁皮。


          b.检查炉门开启机构的轮轴与滑轨的润滑情况。


          c.检查炉衬、电阻丝和热电偶引出棒的安装紧固情况,检查仪表是否正常。

          真空退火炉设备

          d.检查炉底电阻丝、炉底板、活动炉底的传动机构及电动机引出线实购正常良好。


          e.操作人员穿戴好规定的防护用品,并熟悉“安全操作规程”。


          2、箱式电阻炉工作前


          a.新修炉要按 “工艺规程”进行烘炉。


          b.切断电源,按 “工艺规程”进行烘炉。


          c.关闭炉门。


          d.按“工艺规定”进行保温。


          e.通电加热。


          3、工作后


          a.切断电源。


          b.按“工艺规程”进行出炉。


          c.重新装炉,按以上程序重复进行。


          d.连续作业时,认真填写“交接班记录”,同时向接班人当面交接清楚。


          e.按“设备维护规程”维护保养设备。


          4、箱式电阻炉注意事项


          a.炉膛更高使用温度不超过950℃。


          b.操作时应经常观察炉膛实际温度,以免在仪表失灵时造成事故。


          c.进、出炉时应注意保护热电偶。

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