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        1. CVD设备
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          真空退火炉设备的技术有哪些?

          2020-11-27 13:34:35

          卧式真空退火炉设备是真空技术与电炉加热技术相结合的热处理设备。应用于冶金、机械、航天、电子、轻工等产业部分。如:半导体芯片烧结及退火处理、永磁合金制造、真空钎焊、真空除气、金属材料的无氧化光亮热处理等工艺。因为设备可提供清洁无杂质的高真空状态,加热温度平均且能够控制,因此工艺前提优胜,可进步工件质量和成品率。


          卧式真空炉的技术特点:

           

          工作热区设置多支热电偶,通过函数记实仪、温控仪、计算机显示和记实热区的温度分布。 

           

          高精度、多功能入口温控仪,能自动调节与修改PID参数,可存储9条控温曲线,可在线修改。

           

          真空退火炉设备


          可实行双向通信监控,以菜单、图表、曲线、动态界面等形式显示相关内容


          极限真空度高,冷态下炉体可获得优于5×10-4Pa的真空度,热态下可维持在10-3Pa数目级 。

           

          全工位动态模拟显示,运行操作,直观明了 。


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