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        1. CVD设备
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          真空退火炉设备的燃烧系统管路改造

          2020-11-30 14:34:32

          在运行过程中,为了使内罩保持一定压力,即高于常压以上,炉内压力实行自动控制。如果炉内压力降到安全临界值以下,氮气管线上的自动阀(常开)就打开,而排放管线上的阀关闭。工作负荷空间的压力就会随着氮气的冲入而上升,同时对保护气氛的流量和压力进行检查和控制。压力控制采用压力开关和断开出口阀的控制继电器控制。


          真空退火炉设备加热罩燃烧系统有采用多个高速烧嘴,沿加热罩圆周错位均布,烧嘴通过炉台PLC工艺点火系统自动监控,火焰探测仪自动检测烧嘴是否点燃,并将信号送至电磁阀,必要时,可手动脱开烧嘴,退火工艺继续进行。加热过程由PLC监控。温度控制:分别由炉台和加热罩测温信号来调节和监视燃烧强度。加热罩和炉台的实际温度信号与控制器的设定值进行比较得出,或者由调节器连续控制马达阀,或者由控制器给出OPEN(开)信号,马达驱动阀开启,反之给出CLOSE(关)信号,该阀就会平稳关上。

          真空退火炉设备

          燃烧系统管路改造,由于长期使用管路老化,炉内气压不足,故重新布置管道,增加输油金属软管、供气金属软、燃油调节阀、空压机,增加压缩空气管道系统。采用全新的燃油喷雾燃烧器,具有压力雾化结合高压内混合动雾化方式,使燃油雾化颗粒细,能与助燃空气实现zui佳端流掺泥,以实现高效燃烧。不易堵塞,不结焦,火焰的长度形状、温度等容易控制,燃烧完全,不冒黑烟。该退火炉经过规定的烘炉工艺并经一个月的生产实践监测表明,改造是非常成功的,达到甚至超过了设计改造指标的要求。


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