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        1. CVD设备
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          真空退火炉设备的组成

          2021-01-19 14:53:49

          真空退火炉设备的组成

          该炉主要由炉罩、炉罩驱动机构、节能型全纤维耐火炉衬、高温高辐射电热元件、软密封锁紧机构、炉台、炉台导电电极箱、智能PID温度程序控制系统等主要部分组成。

          1.炉罩壳体:

          主要采用优质国标型钢骨架及钢板焊接而成,保证了炉子的密封性能及足够的刚强度,且所有焊缝均匀平滑,无气孔、夹杂、未熔合等缺陷,炉壳外观平直、美观。炉壳外电热元件引出棒集中分布,并外设防护罩。

          2.炉罩驱动机构:

          炉罩驱动采用自行走方式,由电机减速机传动(8m/min);

          车轮共5排,3排主动轮2排从动轮,车轮材质ZG55,车轴材质45#锻制并调质;

          装配轴承采用大载荷双滚柱轴承,钢制轴承座;

          真空退火炉设备

          3.节能型全纤维耐火炉衬:

          炉衬侧墙部分全部采用优质硅酸铝针刺耐火纤维折叠模块(耐火度大于1050℃)锚固而成。该结构型式炉衬是在目前大中型节能炉窑中应用Z为广泛的一种,它将高温陶瓷耐火纤维折叠成风琴状,同时预埋金属锚固件,并给予一定压缩量制成纤维模块,安装成型后,模块间相互挤压形成一个无缝隙的整体隔热炉衬。

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