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        1. CVD设备
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          真空退火炉设备的操作规程

          2021-03-09 10:50:54

          真空退火炉设备的操作规程

          1、真空退火炉设备作业前

          查验“交代班记载”。

          a.查看炉膛清洁状况,并清扫氧化铁皮。

          b.查看炉门敞开组织的轮轴与滑轨的光滑状况。

          c.查看炉衬、电阻丝和热电偶引出棒的装置紧固状况,查看仪表是否正常。

          d.查看炉底电阻丝、炉底板、活动炉底的传动组织及电动机引出线实购正常良好。

          e.操作人员穿戴好规定的防护用品,并了解“操作规程”。

          2、箱式电阻炉作业前

          a.新修炉要按 “工艺规程”进行烘炉。

          b.堵截电源,按 “工艺规程”进行烘炉。

          c.封闭炉门。

          d.按“工艺规定”进行保温。

          e.通电加热。

          真空退火炉设备


          3、作业后

          a.堵截电源。

          b.按“工艺规程”进行出炉。

          c.重新装炉,按以上程序重复进行。

          d.连续作业时,仔细填写“交代班记载”,一起向接班人当面交代清楚。

          e.按“设备维护规程”维护保养设备。

          4、箱式电阻炉留意事项

          a.炉膛更高使用温度不超过950℃。

          b.操作时应常常观察炉膛实际温度,以免在仪表失灵时造成事端。

          c.进、出炉时应留意维护热电偶。

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