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        1. CVD设备
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          真空退火炉设备的加热罩焚烧体系

          2021-03-24 11:00:27

          真空退火炉设备的组成

          该炉首要由炉罩、炉罩驱动组织、节能型全纤维耐火炉衬、高温高辐射电热元件、软密封锁紧组织、炉台、炉台导电电箱、智能PID温度程序操控体系等首要部分组成。

          1.炉罩壳体:

          首要选用国标型钢骨架及钢板焊接而成,保证了炉子的密封性能及足够的刚强度,且所有焊缝均匀平滑,无气孔、夹杂、未熔合等缺陷,炉壳外观平直、漂亮。炉壳外电热元件引出棒会集分布,并外设防护罩。

          2.炉罩驱动组织:

          炉罩驱动选用自行走方式,由电机减速机传动(8m/min);

          真空退火炉设备


          车轮共5排,3排主动轮2排从动轮,车轮材质ZG55,车轴材质45#锻制并调质;

          安装轴承选用大载荷双滚柱轴承,钢制轴承座;

          3.节能型全纤维耐火炉衬:

          炉衬侧墙部分悉数选用硅酸铝针刺耐火纤维折叠模块(耐火度大于1050℃)锚固而成。该结构型式炉衬是在目前大中型节能炉窑中使用为广泛的一种,它将高温陶瓷耐火纤维折叠成风琴状,一起预埋金属锚固件,并给予必定压缩量制成纤维模块,安装成型后,模块间相互揉捏形成一个无缝隙的全体隔热炉衬。

          真空退火炉设备加热罩焚烧体系有选用多个高速烧嘴,沿加热罩圆周错位均布,烧嘴通过炉台PLC工艺焚烧体系主动监控,火焰探测仪主动检测烧嘴是否点着,并将信号送至电磁阀,必要时,可手动脱开烧嘴,退火工艺继续进行。加热进程由PLC监控。温度操控:分别由炉台和加热罩测温信号来调理和监督焚烧强度。加热罩和炉台的实际温度信号与操控器的设定值进行比较得出,或许由调理器连续操控马达阀,或许由操控器给出OPEN(开)信号,马达驱动阀敞开,反之给出CLOSE(关)信号,该阀就会平稳关上。

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