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        1. CVD设备
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          真空退火炉中常用的几种真空系统基本参数

          2021-06-18 08:59:16

          真空退火炉设备品种多,对真空系统的要求不一样。就真空度而言,有低真空、中真空和高真空系统。

          1.低真空系统

          它适用于真空度在1333~2Pa范围的真空热处理炉,如预抽低真空井式炉。大多以油封式旋转机械泵为主泵的系统。

          2.中真空系统

          它适用于真空度在1.333~3×10Pa范围的真空热处理炉。中真空系统在真空热处理炉中应用Z广泛,其通常有两级真空泵机组组成。初级泵多采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。

          3.高真空系统

          它适用于真空度在1.333×1O~6.6×10Pa范围的真空热处理炉,如真空退火炉、真空钎焊炉。其通常有三级真空泵机组组成,主泵通常采用油扩散泵、离子泵,初级泵大都也是采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,前级泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。

          退火炉

          真空系统的基本参数

          真空热处理炉的真空系统主要参数有极限真空度、工作真空度、抽气时间、抽气速率、漏气率(压升率)。

          极限真空度真空炉在空炉、冷态下所能达到的高真空度称为极限真空度。极限真空度是考核真空炉各零部件的加工和装配质量、真空机组的抽气能力与极限真空、炉体的密封与漏气和真空卫生情况的重要指标。通常,真空炉的极限真空度应低于主泵一个数量级左右。





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