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        1. CVD设备
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          真空退火炉的开炉及停炉如何操作

          2021-08-19 10:46:41

          真空退火炉设备主要适用于不锈钢拉深件如水暖器材、水胀件、销、医疗器械、不锈钢钉、不锈钢镙丝、压铆件、不锈钢轴承、表壳、表带、刀具、微型轴、自攻自钻、餐具等不锈钢制品在保护气氛控制下进行连续光亮退火、固溶、退磁及不锈钢淬火处理的多用炉。

            1.合上电控拒上的总断路器及柜内各分断器器。

            2.按下“仪表电源”和“PLC电源”按钮,将“自动/手动”转换开头调到“自动”档。

            3.将触摸屏画面切换到“操作状态”,按“操作模式”,选择“手动”,再按“返回”,回到“操作状态”画面。

            4.按“滑阀泵”、“确认”,滑阀泵启动,开始时管道抽真空,1-2分钟后,按“真空阀”、“确认”,真空阀开,连能管首和炉体。

            5.关注真空测量仪上的真空度变化情况,当面板上的“J1”指示灯亮后,按“罗茨泵”、“确认”,启动罗茨泵。

            6.当真空仪面板上的“J2”指示灯亮后,表示已达到打开预抽阀的真空度,按“预抽阀”、“确认”,预抽阀打开,随后按“扩散泵”、“确认”,扩散泵开始加热,记下开始加热的时间。

            7.根据工艺要求,在退控仪上设定好升温曲线。

            8.当扩散泵加热时间达到1.5小时,且真空仪面板上的“J4”指示灯亮后,按“真空阀”、“确认”,关闭真空阀,再按“扩散泵阀”、“确认”。扩散泵阀开启后,对炉内抽取高真空。

            9.当真空仪面板上的“J3”指示灯亮后,按“加热”、“确认”,主回路得电,操作退控仪,炉体将按设定好的升温曲线开始升温。

          真空退火炉设备

            10.升温结束后,进入冷却阶段,是否采用快冷依工艺而定,快冷程度如下:

            ⑴按工艺要求调整充气压力表的上、下限,调整风机控制压力表的上、下限,在无纸记录仪上调好风机启动温度。

            ⑵按步骤关闭各真空泵、阀。扩散泵阀→扩散泵→预抽阀→真空阀→罗茨泵→滑阀泵

            ⑶按“充气阀”、“确定”,充气阀打开,向炉内充入高纯的N2或Ar当炉内压力接近充气压力上限时,关“充气阀”,打开“微充阀”,直到充气上限为止。

            ⑷当达到设定的风机启动温度后,按“风机”、“确定”风机启动,炉温快速冷却。

            ⑸若热交换器及风机出水温度较高,应适应调大其供水阀,以利缩短冷却时间。

            ⑹当真空退火炉炉温达到100℃以下,关闭风机,打开扩散泵上部的手动阀,排出炉内气氛,直至炉压与大气压平衡,方可打开炉门,取出产品。

            11.在自然冷却方式下,当升温结束,温控仪设定的曲线运行完毕后,关闭扩散泵阀→扩散泵,打开真空阀,但预抽阀不关。

            12.滑阀泵及罗茨泵运转,直到炉温100℃以下,按下述步骤关闭真空泵、阀。预抽阀→真空阀,→罗茨泵→滑阀泵

            13.打开扩散泵上部的手动阀,使大气压进入炉内,直到炉内与大气压达到平衡,打开炉门,取出产品。


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