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        1. CVD设备
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          真空退火炉设备强度大小直接影响炉内温度分布状况

          2021-11-10 17:13:01

          真空退火炉设备如选择强冷冷却,在第八步后,封闭“真空计”、“高阀”、“粗抽阀”、“涣散泵”,只留下“机械泵”和“前级阀”对涣散泵进行抽真空并冷却。在翻开“充气阀”,向炉内充入氮气或许氩气至与大气根本平衡后(有压力表控制风机发动检测点和充气上限检测点),打开强冷风机,直至冷却至出炉温度(强冷过程中补气是自动控制)。封闭“充气阀”。冷却至出炉温度后,把旋钮打到“门开”方位。然后拧开“手动放气阀”充气至与大气平衡后,真空炉炉门自动翻开,然后拧紧“手动放气阀”。然后在进行取料。封闭水、电、气。结束整个工艺流程。

           炉内内热元的强度吼,在该规划中,首要选用内热源方法。内部热源发热,温度由里至外传递。其强度大小直接影响炉内温度分布状况。可以看出,当内热源吼越高时,必定点的温度越高,一同必定温差(△T)的分布区域(r)越大。所以,在实践出产过程中,可以通过控制炉芯的表面负荷亦即炉芯功率控制炉内温度分布。

          钎焊炉


          反应料距炉芯的距离(△r),当炉芯功率必守时,即内热源的强度必守时,距离炉芯越远的反应料,温度越低,可以无法到达反应所需温度。距离炉芯越近,温度越高,越利于反应进行。 炉内内热元的强度吼,在该规划中,首要选用内热源方法。内部热源发热,温度由里至外传递。其强度大小直接影响炉内温度分布状况。可以看出,当内热源吼越高时,必定点的温度越高,一同必定温差(△T)的分布区域(r)越大。所以,在实践出产过程中,可以通过控制炉芯的表面负荷亦即炉芯功率控制炉内温度分布。

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