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        1. CVD设备
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          真空退火炉设备加热罩焚烧体系有选用多个高速烧嘴

          2021-11-12 12:07:37

          真空退火炉设备由炉门、炉门提高组织和炉门压紧设备组成。炉门壳体由型钢与板材焊接而成结实框架结构,内用 耐火纤维压制模块叠铺而成,要求保温性能好,重量轻等。炉门的提高设备选用电动设备,主要由炉门架、炉门 提高横梁、减速机、链轮、传动轴和轴承等部分组成,炉门升降经过减速器上正反传动来带动炉门的升降。炉门 提高减速器还配有刹车设备,可以有效避免炉门在升降进程中发生位移。炉门压紧设备选用国内先进的绷簧式杠 杆压紧结构,当炉子需求提高时,炉门的自重经过杠杆将炉门自动松开,并水平移出一段距离后上升,当炉门下 降到位时,由绷簧的弹力再经过杠杆将炉门水平移进到压紧密封状况,此种结构的压紧设备使炉门上、下时无摩 擦发生,具有性能好、运用使命长的特点。

          卧式真空退火炉设备是真空技术与电炉加热技术相结合的热处理设备。应用于冶金、机械、航天、电子、轻工等产业部分。如:半导体芯片烧结及退火处理、永磁合金制作、真空钎焊、真空除气、金属材料的无氧化亮光热处理等工艺。由于设备可提供清洁无杂质的高真空状况,加热温度平均且能够控制,因而工艺条件优胜,可进步工件质量和成品率。

          真空退火炉设备


          真空退火炉设备加热罩焚烧体系有选用多个高速烧嘴,沿加热罩圆周错位均布,烧嘴经过炉台PLC工艺焚烧体系自动监控,火焰探测仪自动检测烧嘴是否点着,并将信号送至电磁阀,必要时,可手动脱开烧嘴,退火工艺继续进行。加热进程由PLC监控。温度控制:分别由炉台和加热罩测温信号来调节和监视焚烧强度。加热罩和炉台的实践温度信号与控制器的设定值进行比较得出,或者由调节器连续控制马达阀,或者由控制器给出OPEN(开)信号,马达驱动阀敞开,反之给出CLOSE(关)信号,该阀就会平稳关上。

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