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        1. CVD设备
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          真空炉的各种故障都有哪些应急措施?

          2022-02-17 11:00:28

          真空炉的各种故障都有哪些应急措施?在遇到突然停电、停水、停压缩空气等紧急情况,应立刻采取以下应急措施:包括应急氮气、应急冷却水。主要采取措施是:

          一、当加热室加热和停电时

          1.立即关闭设备总功率。

          2.关闭各管路的真空阀门,防止空气进入真空炉。

          3.加热室通风用高纯氮至6.6×10-4使炉膛尽快降温.稳手同时提前向冷却室通风,以压热闸阀。

          4.如果使用再生水冷却和供水,应启用备用水(自来水或蓄水池)。

          二、当加热室加热水时

          1.立即切断加热电源

          2.启用备用水。

          3.将工件从加热室转移到冷却室,充氮快速冷却部件。

          4.填充高纯度氮气,加热室,使其快速冷却150以下。

          三、当加热室加热时,出现了部分泄漏

          1.立即用真空水泥堵塞泄漏位置。

          2.立即切断加热电源。

          3.加热室立即充入高纯氮气,使炉前压力接近一等级,以减少空气渗入。

          四、流水作业情况

          1.若短时间无水或水压不足,可有声光报警系统,但不影响工作,可在正常情况下继续工作。

          2.断水或水压不足,并估计情况会超过20分钟,应立即停止加热。直到水压恢复正常时,从零开始加热,此时应根据加热室温度刚好时的均匀工艺曲线。


          真空退火炉设备


          五、权力运行

          动力系统,所有气动阀立即关闭..停电遇到“喂”或“喂”过程,具体处罚自由处罚方式如下:

          1.当遇到“进料”过程时,将“活动”改为“手动”模式,调用后用手动操作键将“进料过程完成,然后将“手动”改为“活动”,按照正常标准继续工作。

          2.当遇到“进料”过程时,立即用人清除物料,并将关闭闸阀与人一起,在呼叫后,从开始一次工作开始。所谓“人”,是人为地通过在直流电机下握手或仪器的尾部,使机构动作。

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