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        1. CVD设备
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          磁控溅射设备的镀膜均匀

          2022-04-09 14:30:44

          磁控溅射设备技术发展过程中各项技术的突破一般集中在等离子体的产生以及对等离子体进行的控制等方面。通过对电磁场、温度场和空间不同种类粒子分布参数的控制,使膜层质量和属性满足各行业的要求。

          膜厚均匀性与磁控溅射靶的工作状态息息相关,如靶的刻蚀状态,靶的电磁场设汁等,因此,为保证膜厚均匀性,国外的薄膜制备公司或镀膜设备制造公司都有各自的关于镀膜设备(包括核心部件“靶”)的整套设计方案。同时,还有很多专门从事靶的分析、设计和制造的公司,并开发相关的应用设计软件,根据客户的要求对设备进行优化设计。国内在镀膜设备的分析及设计方面与国际先进水平之间还存在较大差距。


          磁控溅射设备


          因此,建立溅射镀膜综合设计系统是势在必行的。系统的建立可按照由整体综合设计展开到部分设计,然后,再由部分设计逐步深入到整体综合设计,即“整体到部分,再到整体”这一动态设计理念,不断完善设计系统。将溅射镀膜所涉及的重要因素列举出来,找出它们之间的内在联系,进而建立溅射镀膜综合设计系统,在此基础上进行膜厚均匀性研究,并为后期转化为设计系统软件做铺垫,来实现制备薄膜均匀性好的大面积薄膜,为生产提供有力的保障。

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