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        1. 磁控溅射设备
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          真空退火炉设备

          2021-02-24 16:45:54
          真空退火炉设备
          详细介绍:

          退火炉

          真空退火炉设备是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

          退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。

          退火炉骨架由各种型钢焊接而成,外框用槽钢作主梁,围板采用冷薄板,台车用槽钢作主梁,底板及前后端板采用中板。

          退火炉传动部分:台车传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动。炉门传动是采用蜗轮减速机和电动机组合电动升降。

          密封:台车与炉体密封采用迷宫式结构,并在台车两侧有自动沙封刀密封装置。炉门密封采用滚道式压紧和弹簧压紧自动机构密封该炉炉体部分采用优质耐火砖结构,保证炉膛密封性。在台车耐压部分采用高铝砖砌筑,下部均添保温砖保温。

          退火炉燃烧系统:在油炉两侧各安装数只烧咀,热流在炉内往复循环,确保炉温均匀性。根据需要可选定自动型和半自动型。

          排烟预热装置:在炉后上端安装了排烟预热装置,炉内的烟气通过预热器时,由风机送入冷风进行预热,再由管路送至烧咀进行助燃,并在出口安装一只手动碟阀,该阀可调节炉内压力。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。


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